磁头晶圆净化车间洁净室工程

客户介绍

东莞某电子制品厂位于广东东莞，主要经营磁头晶园芯片制造、磁头加工、线芯组合组装、磁头组合半成品组装、硬盘组装、电子及电脑周边零配件加工组装、多层陶瓷电容片加工、薄膜磁头加工、汽车电子零配件加工、信息接收模块加工，主要供应给Samsung（三星）、Toshiba（东芝）、Hitachi(日立）、Fujitsu（富士通）、Western Digital（西部数据）、CORNICE等世界各地数据储存产品生产商。

项目概况

工程名称：磁头晶圆净化车间洁净室工程

项目地址：广东东莞

归属行业：电子&半导体

净化级别：万级/千级

空调系统

空调面积7000㎡，夏季总计算冷负荷4600kw，洁净区冷负荷4,040kw，非洁净区冷负荷520kw。非洁净区包括办公室、鞋柜房、大堂、仓库等。平均空调面积指标669W/㎡，设备楼二楼制冷机房设置 4台开利螺杆式冷水机组，冷媒为R134a，冷冻水供回水温度7℃/12℃，冷冻水泵和冷却水泵各5台，均为4用1备，并联运行。冷冻水泵型号为SPP150/40,每台流量72L/S；冷却水泵型号为SPP150/32,每台流量87L/S，设备楼顶设菱和FT400冷却水塔4台，并联运行。

净化车间结构系统  

1、净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造，其特点为美观、刚性强。圆弧墙角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材制造。

2、地面采用环氧自流坪地坪，有防静电要求的，选用防静电型。

3、送回风管道用热渡锌板制成，贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。

4、高效送风口用不锈钢框架，美观清洁，冲孔网板用烤漆铝板，不生锈不粘尘，宜清洁。

设计依据   

业主提供的图纸及技术文件及现场勤查资料；

《洁净厂房设计规范》          GB50073-2013

《电子工业洁净厂房设计规范》  GB50472-2008

《洁净厂房施工与验收规范》    GB50591-2010

《金属面岩棉、矿渣岩棉夹芯板》JC/T869-2000

《建筑设计防火规范》          GB50016-2010

《洁净厂房建筑构造》          08J907

特殊处理

本工程对温、湿度要求较高，夏季降温、除湿均由表冷器实现，故采用温、湿度PID输出最大值的控制方法。AHU及PAHU的冷冻水量采用等百分比二通电动调节间进行控制.主洁净室每台AHU负责的区域较大,所以每台AHU分别配 2－3个温、湿度传感器取平均值进行温、湿度的自动控制。空调系统的除湿主要由PAHU来完成。