光学器件无尘净化车间工程

工程概述

本工程位于深圳开发区，用于生产某光学器件，生产需要在一个有稳定的洁净度、 湿度和温度的超净环境中进行。工程利用原有厂房，1层为洁净厂房，2层为设备层，放置组合式空调器。

冷水机房、锅炉房、水泵房在厂房周边。1层净化面积约950㎡，吊顶高度3.2ｍ，工作人员共32人，工作时间24h，空调系统全天运行。净化车间主要工艺包括刻蚀、镀膜、镀铬、光刻、涂层、涂保护层等工序，各工段的洁净度、温度和相对湿度见表1。

原厂房为多层厂房框架结构，净化工程利用厂房改造而成，四周墙和各工段的房间隔断采用夹心彩钢板，中间为聚苯乙烯发泡板，厚50mm，100级、1000级吊顶用铝制密封高效洁净天花龙骨，在洁净天花龙骨上置高效过滤器，100级满布，1000级放少量盲板，龙骨和过滤器尺寸吻合，其他等级采用高效过滤器和盲板相间摆放。

100级地面铸铝导电高架地板60AG，600mm×600mm铸铝地板与回风口结合安装，架高60cm，其他洁净度的地面为环氧自流地坪。风淋室采用钢板自动吹淋联锁风淋室AAS－700ASR－3三人用双喷型W1500×D2800×H2040，双门电磁联锁，喷淋时间可调。由于相对湿度要求（45±5）％，设计选用转轮除湿机，对新风进行除湿处理，与之配套还选用了组合式新风空调机组，利用制冷站冷水机组提供的冷水对新风进行预冷，再用转轮除湿机进行除湿。饱和后利用锅炉房提供的蒸汽加热成高温空气进行再生，再生蒸汽量331KG／H， 蒸汽压力0.5MPａ，处理后的新风分别送入6台组合式空调机组，与各洁净房间的回风混合后送人洁净室，机组由混合段、表冷段、加热段、加湿段、均流段、消音段、检修段、中效段、 出风段组成，实现过滤、加热、冷却、加湿等处理后的空气送到净化间吊顶中的高效过滤器， 0.3μm低阻力高效过滤器HEPADOP滤网效率为99.99％。

冷源采用制冷站的PFS－450.3半封闭螺杆式冷水机组，制冷量1546KW，供／回水温度为7℃／12℃，热源采用锅炉房的燃油蒸汽锅炉，容量为1.5ｔ／ｈ， 蒸汽用于转轮的再生和空调机组的加热加湿，调节相对湿度、温度。

动态和静态的换气次数

洁净室是靠大量的送风带走尘埃的，这样它的送风量远大于空调的送风量，一般空调的送风量是依据冷热负荷以及湿负荷等进行计算的，而洁净室的送风量是依据洁净间的截面风速或净化要求的换气次数来计算的，ISO6～9级属于非平行流，其送风量等于房间体积乘换气次数，而目前《洁净厂房设计规范》（GB 50073—2001）中所列是静态换气次数。动态与静态不同在于人员在工作，走动和静止时产生的粉尘大不相同，再加上生产过程可能产生的尘粒，这样依不同状态，动态的产尘量是静态的3～7倍。

另外，当洁净室从停止运行状态到再启动运行需多少时间达到洁净度的要求，也与换气次数有关，换气次数越大，达到要求的洁净度时间越短，所以单向流洁净室由于换气次数很大，达到洁净度时间很短。

湿度的处理

光学器件生产是在对环境特殊控制下的超净室中进行的，除温度外洁净室对湿度也有较高的要求，100级、1000级、10000级的相对湿度均为45±5%，此湿度用冷水或工质直接蒸发，把温度将至露点以下除湿难以达到要求，这样本设计选用2台DM-1700S转轮除湿机，每台风量为17000m³/h，潮湿空气进入转轮处理区，空气中的水分子被转轮吸湿剂吸收，水蒸气发生相变，释放出潜热，空气因自身水分减少以及潜热的发生升温变干，转轮稀释一定水分饱和后到再生区，由再生的高温空气（100～140℃）使转轮中水分蒸发恢复除湿能力，再生空气带走水分排到室外。

由于要处理的空气在转轮中除湿时，温度升高很多，为防止处理后空气温度过高，所以进入转轮前要先对空气进行处理，本设计选用33500m³/h的新风组合式空调机对新风先行处理，组合式空调机主要由粗效过滤段、表冷段、中效段和高中效段组成。