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半导体洁净厂房芯片净化车间暖通空调设计原理及方法

本次研究的微电子厂房主要从事芯片的研发和制造。厂房包括行政办公楼、化学品库、主厂房以及动力厂房等。其中主厂房共三层,从上到下依次为洁净室、洁净下技术夹层、动力下技术夹层。其中ISO6级和ISO7级为洁净室等级,

2022-09-12

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锂电池洁净厂房的工艺分析与技术要点

​国内锂电池行业近几年随着新能源话题的逐渐火热而获得了迅猛发展,本文在介绍锂电池基本概念与发展概况的基础上对锂电池项目的生产链结构以及工艺过程进行了详细分析,并指出了工艺过程中存在的一些技术难点,对其进行

2022-09-09

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半导体集成电路无尘车间芯片洁净厂房设计

某大功率半导体集成电路芯片洁净厂房的设计是在没有具体工艺配合的情况下完成的,通过这一设计实践证明,只要掌握了生产工艺的原理及技术特点,在工业建筑设计中建筑学专业仍然可以做龙头专业。

2022-09-08

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硅晶片芯片洁净厂房无尘车间净化空调

结合实例,介绍洁净室净化空调系统设计原则、气流组织形式、空气处理过程,并讨论了其空调系统的自控问题。

2022-09-08

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