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无尘车间的概念及主要组成部分
空气洁净度100级、10000级及100000级的空气净化处理,应采用初、中、高效过滤器三级过滤器
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2022-10-24
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TFT-LCD 洁净车间系统简要介绍
TFT-LCD行业电子洁净厂房面积比较大,随着各种高世代线的投入,洁净厂房的面积也越来越大,对温湿度,洁净度控制要求也越来越高。总的来说,电子工厂生产工艺对环境的要求可用大、净、精来形容
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2022-10-21
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半导体晶圆洁净厂房的微震控制技术
为了保证晶圆半导体的良率,需要在洁净厂房中进行生产的同时,有效把控关键工艺机台(如黄光光刻区等)的微震设计,还需要积极应用微震控制技术,从各个方面做好微震控制,确保晶圆半导体的生产质量和良率。
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2022-10-19
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电子洁净厂房净化车间暖通施工
洁净空调在施工的过程中是很重要的环节,确保洁净空调是在没有粉尘污染的情况下进行安装,并且对于施工人员的技术水平也有着重要的要求
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2022-10-13
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