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半导体洁净厂房环境对产品质量的影响 2022-06-10 15:11:57

随着美国对我国半导体行业的封锁升级,半导体行业获得了前所未有的关注,政府、高校以及大型企业以各种形式,纷纷投入到这块“阵地”,国内半导体、显示面板等行业掀起了一阵投资建厂的热潮。

半导体需要在高洁净度的空间里生产,自然也带动对半导体洁净厂房系统工程的整体市场需求。国内正在全力打造集成电路创新高地,那是科研工作的研发领域,作为一家工程建设企业,其实也可以为我国半导体行业的顺利发展提供一些力量,影响半导体生产的关键因素之一就是洁净的生产环境,即良好的半导体洁净厂房,半导体洁净厂房环境将直接影响芯片制程工艺的良品率。简单来说,优质的半导体洁净厂房是制造优质半导体产品的基础环境。

众所周知,半导体器件的生产对生产环境要求很严,个别区域的洁净度要求甚至达到十级的标准。半导体器件涉及数百个制造工序,生产技术非常具有特殊性,其特殊性导致它对生产环境,如温度、湿度,洁净度都有严格要求,这些环境参数关系到晶圆生产的合格率和使用寿命。半导体器件,尤其是高敏感度高密度的集成电路,是易损体质,非常容易受到污染。半导体器件尤其是小尺寸晶片,体积非常小,其微小的表面沉积层非常受尘埃的困扰。

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空气中一直充满着尘埃,只是小到肉眼不可见,但它们原本就存在。稍微了解半导体行业知识的人都知道,在半导体制程中,空间单位开始已经以微米计算,这些尘埃对于每个晶体管的体积就属于较大颗粒,举个粗俗的例子,就好像苍蝇遇到了蚂蚁,体积上已经可以对比了。考虑一下,如果这些肉眼不可见的微粒黏附在半导体的线路上,可能会影响其精密的导线布局,轻者导致半导体器件的导电性不良,严重的造成短路或断路,甚至导致整批产品报废。因此要保证半导体生产的良品率,必须要有一个优质的半导体洁净厂房。

洁净室的洁净度是以每立方米(或每立方英尺)空气中的最大允许粒子数来确定,一般分为10级、100级、1000级、10000级及100000级。在工程上,一般是利用室内空气的循环来保持生产区域的洁净等级,气流——初效净化——中央空调——中效净化——风机送风——管道——高效净化风口——吹入房间——带走尘埃细菌——回风百叶窗——初效净化。空气在严格控制温度、湿度的前提下,经过过滤器过滤后进入洁净室,而室内空气经过回风系统离开洁净室,再经过过滤器过滤后重新进入到洁净室。

半导体洁净厂房的设计和建造是一个复杂和繁琐的过程,小编从半导体洁净厂房整个系统的环境对半导体生产的影响做了一个简要概述。

实际上半导体洁净厂房是半导体生产的关键,决策者会有深刻的认识。作为一个从业多年的暖通工程师,我们深有感触,一个洁净厂房的产生,需要长时间的调研,反复的大量的冷热负荷计算、风量平衡计算等,合理的工程设计、优化,工程安装、调试,来确保整个系统的平衡、合理。广东汉鼎建设集团游戏公司专业从事洁净厂房设计、建设、维护,为客户提供一站式的净化解决方案,为高品质产品提供基础环境,保驾护航!