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无尘净化EPC建设标杆企业

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无尘车间的概念及主要组成部分

空气洁净度100级、10000级及100000级的空气净化处理,应采用初、中、高效过滤器三级过滤器

2022-10-24

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无尘车间是什么?要如何设计

建设无尘车间工程是涉及到众多学科的综合型工程,好的设计方案是工程完美实现的基础,也是前提条件

2022-10-24

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TFT-LCD 洁净车间系统简要介绍

TFT-LCD行业电子洁净厂房面积比较大,随着各种高世代线的投入,洁净厂房的面积也越来越大,对温湿度,洁净度控制要求也越来越高。总的来说,电子工厂生产工艺对环境的要求可用大、净、精来形容

2022-10-21

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半导体晶圆洁净厂房的微震控制技术

为了保证晶圆半导体的良率,需要在洁净厂房中进行生产的同时,有效把控关键工艺机台(如黄光光刻区等)的微震设计,还需要积极应用微震控制技术,从各个方面做好微震控制,确保晶圆半导体的生产质量和良率。

2022-10-19

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